СУ1510

Стандартные спецификации

(1) Основные спецификации

Разрешение изображения SE 3,0 нм при 30 кВ (x100,000, WD = 5 мм, режим высокого вакуума)
15 нм при 3 кВ (x30,000, WD = 5 мм, режим высокого вакуума)

Разрешение изображения BSE 4,0 нм при 30 кВ (x60,000, WD = 5 мм, 6 Па в режиме низкого вакуума)

Увеличение : 5 - -А300 000
(Самые высокие и самые низкие увеличения зависят от ускоренного напряжения, скорости сканирования WDand)

(2) Электронная оптика

Источник электронного пучка : Предцентрированная нить картриджа (вольфрамовая нить для волос)

Ускорение напряжения 0,3 кВ – 30 кВ

Предвзятость пистолета: Квадрантная предвзятость

Выровнение луча 2-ступенчатое электромагнитное отклонение (работает в качестве бланкинга луча, когда изображение замерзает)

Система линз: 3-ступенчатая электромагнитная оптика снижения линз

Стигматор: X-Y октополь электромагнитный

Сканирующая катушка 2-ступенчатое электромагнитное отклонение

Объективная подвижная диафрагма: 4 отверстия с конструкцией клик-стопа (диаметры 30, 50, 80, 150 мкм)

Перемещение изображения: ±50 мкм или больше при WD = 15 мм

Позиция анализа WD = 15 мм, TOA = 35Б

Детекторы: SE детектор в режиме высокого вакуума
Детектор BSE в режиме высокого и низкого вакуума

(3) Степень проб

(4) Эвакуационная система

Контроль эвакуации Полностью автоматическая последовательность с двигательными клапанами

Вакуумный измеритель : Пирани калибр

Окончательный вакуум : 1,5 х 10^-3Па

Регулируемый диапазон давления: 6 – 270 Па (только внутренний вакуумный режим)

Вакуумный насос:Турбомолекулярный насос (TMP) 210л/с,А1 масляный ротационный насос 135 л/мин. (50 Гц), 162 л/мин. (60 Гц),А1

(5) Дисплей

Управление: Графический пользовательский интерфейс (GUI), английское меню

ОС: Microsoft^®ОС Windows^®XP Профессиональный

Операция: мышь/клавиатура, набор ротационной ручки (опция)

Монитор: 19 типа ЖК (1280)А1024 пикселей на рабочем столе)

Режим отображения изображения Полноэкранный дисплей (1280 ´960 пикселей)
Стандартный дисплей (640)480 пикселей)
Двойный дисплей изображения (640 ´480 пикселей)А2), смешивание сигнала

Режим сканирования Телевизор/Быстрое

: медленный

Уменьшение площади (320)А240 пикселей)

: Волновая форма

: разделенный экран / двойное увеличение

Захват изображений высокой четкости (максимум 2560 ´1920 пикселей)

Захват изображения с интеграцией кадра (максимум 2560 ´1920 пикселей)

Скорость сканирования : сканирование телевизора
(640А480 пикселей, 25/30* кадров/сек.)

: Быстрое сканирование
(полноэкранный дисплей: 6,3/7,5* кадров/сек.)

: медленное сканирование
(полноэкранный дисплей: 1, 4, 20/16, 40/32, 80/64* сек./кадр)
(640А480 пикселей: 0,5, 2, 10/8, 20/16, 40/32*сек./кадр)

: Сниженное сканирование площади
(320А240 пикселей: 25/30,3/4* кадра/сек.)
* Частота питания: 50/60Hz

Функции автоматической регулировки

:Автоматическая яркость и контраст (ABCC)

:Автоматическое управление фокусом (AFC)

:Автоматический стигматизатор и фокус (ASF)

:Автоматическое насыщение нити (AFS)

:Автоматическое выравнивание луча (ABA)

:Автоматическая настройка луча (ABS)
(AFS + ABA + Автоматическое пистолетное предубеждение)

Функции обработки сигналов и изображений

Улучшение соотношения S/N посредством усреднения (ТВ, БЕСРОКОЕ сканирование)

Улучшение соотношения S/N за счет интеграции пикселей

Улучшение соотношения S/N посредством интеграции кадров
(максимальные кадры для интеграции: 1024) (TV, FAST, SLOW1)

: Композитный двухцветный дисплей изображения
(В режиме реального времени на режиме отображения двойного изображения / сохранить изображение)

: Псевдоцветный дисплей (сохранить изображение)

: Обработка изображений в реальном времени
(Обратный контраст, гамма-контроль)

: дисплей гистограммы в реальном времени

Обработка изображения для сохранения изображения
(Обратный контраст, управление гаммой, сглаждение, усиление края и т. д.)

Сохранение изображения Размер сохранения изображения
(640А480 пикселей, 1280 ´960 пикселей, 25601920 пикселей, 5120А3840 пикселей)

Формат файла изображения: BMP, TIFF, JPEG

Печать изображения : бесплатная функция печати макета в стандарте

Управление сохранением изображения

Менеджер данных SEM (база данных изображений) в стандартном виде
(Управление данными, дисплей миниатюр, различные функции обработки изображений)

Другие функции : Очистка луча, когда изображение заморожено.

: Растерное вращение

Динамическая фокусировка/компенсация наклона

: Отображение данных (номер изображения, ускорение напряжения, увеличение, микронный маркер, единица, WD, дата, время, давление, детектор)
Дисплей данных с выбором между изображением и без изображения

:Ввод данных[Фигуры (круг, прямоугольный, стрелка, линия измерения), символы]

: Легкая функция измерения (расстояние между 2 точками и линиями измерения со стрелкой)

Руководство по обслуживанию 3D-анимации

Передача изображений на Quartz Imaging PCI

Функция режима рентгеновского излучения : Входные сигнальные терминалы для рентгеновского скоростного измерителя (0 - +10V) и картографии (TTL)

Режим сканирования (анализ линии, анализ пятен, анализ средней концентрации)

Интерфейс: DBC (опция)

Порт подключения для внешнего оборудования

Интерфейс: USB

Сетевой интерфейс (Ethernet), настройка на выбор.

Сигнал VTR: только черно-белый сигнал NTSC (BNC), изображение только в стандартном режиме отображения.

(6) Устройство безопасности

: Защитен от отключения электроэнергии, утечки тока и вакуумного отключения.

(7) Размер и вес