TMC Активная система выравнивания виброизоляции воздуха

ДоговариваемыйОбновление на01/09

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Активная система выравнивания виброизоляции воздуха TMC, PEPS II, была построена и усовершенствована на основе * liPEPS (прецизионная электронная система позиционирования) TMC. Добавление новых цифровых контроллеров делает PEPS II более простым в использовании, предлагает больше функций и улучшенный пользовательский интерфейс.

Подробности о продукте

TMC Активная система выравнивания виброизоляции воздухаПЭПС II

Система PEPS II построена и усовершенствована на базе системы точного электронного позиционирования TMC * liPEPS. Добавление новых цифровых контроллеров делает PEPS II более простым в использовании, предлагает больше функций и улучшенный пользовательский интерфейс. PEPS II - это цифровая бесконтактная система управления высотой для пневматической виброизоляции TMC. Такие системы обычно включают механические высотные клапаны и механические высокочувствительные шатуны. Его применение включает в себя оборудование для производства полупроводников, которое требует улучшения стабильного времени и производительности, а также прецизионную лабораторную среду, которая требует оптимальной шумовой производительности и стабильности платформы.

TMC主动空气隔振调平系统

TMC Активная система выравнивания виброизоляции воздухаПЭПС IIособенность

· Цифровой контроль, дружественный пользователюИнтерфейс LCD

• Для использованияБесконтактное электропневматическое управление высотой в виброизоляционных системах Gimbal Piston, CSP и MaxDamp

•Восстановление положения оси Z: 10 микрон

Улучшен виброизоляционный эффект благодаря устранению точек рычажного контакта с традиционными механическими системами управления высотой

• Функция пневматической подачи сводится к минимумуРеакция оси Z на движение платформы X - Y

• Может быть адаптирована для быстрой стабилизацииДвижение, вызванное платформой X - Y

• необязательно "Функция VX включает в себя инерционный датчик для активного демпфирования резонанса вертикального виброизолятора

· Совместимость со станцией "Мягкий док". Разрешить загрузку без установки движения/ Удалить кристаллическую окружность

Соответствие электронным клапанам. « Переключатели» или традиционные электронные клапаны не создают импульсного шума

• Выхлопные трубы для очистки выхлопных газов

• Логическое управление стыковкой и состояние

спецификация

Физические размеры	Контроллер PEPS II 1,72 дюйма (43,7 мм) Высота x 8,0 дюйма (203 мм) Ширина x 9,4 дюйма (240 мм) Глубина
вес	Контроллер PEPS II: около 3,0 фунтов (1,2 кг)
Окружающая среда (См. EN 61010 - 1: 1993, EN 61010-1/A2: 1995 год)	Только для внутреннего пользования, до 2000 метров над уровнем моря (6560 футов) Максимально допустимый диапазон температур: от 5°C до 35°C Максимально допустимая влажность: 80% при 31°C и линейное снижение до 50% относительной влажности при 40°C Допуск напряжения основного источника питания: 85 VAC - 240 VAC Класс перенапряжения: 2 Класс загрязнения (IEC 664): 2 Требования к вентиляции: 25 мм с обеих сторон, 0 мм с верхней и нижней.
Требования к питанию	Диапазон входного напряжения питания: 90 - 230 VAC Входной диапазон частот: 50 - 60 Гц
ПЭПСII Пользовательский интерфейс (Передняя панель)	Выключатель питания Четыре кнопки меню LCD Показать 20 x 2 символа 2 диагностические розетки (тип BNC) трехцветный индикатор состояния Порт USB
ПЭПСИнтерфейс II (Задняя панель)	Ввод питания переменного тока с фильтром EMI Один входной входной порт для 1 / 4 - дюймовых наружных трубопроводов Один входной порт с воздушным выходом (выпуском) для трубопроводов наружного диаметра 1 / 4 дюйма 4 порта с воздушным защелком для трубопроводов наружного диаметра 1 / 4 дюйма (по одному на виброизолятор) DB - 25 Общий вход - выход и розетка подачи 1 зеленый разъем & lt; & lt; Феникс & gt; & gt; с интервалом 0,2 дюйма с шестью выводами (датчик вертикального сближения) 1 & lt; & lt; Феникс & gt; & gt; с интервалом 3,5 мм, 6 - контактный черный разъем (датчик горизонтального сближения) Заземленные резьбовые шпильки (# 10 - 32 резьбы) Розетка DB - 25F: 1 цифровой входной конец, 3 интерфейса датчика сейсмического детектора (опция "- VX") Розетка DB - 25F: 1 цифровой входной конец, 3 выхода тока близки к датчику (необязательно)
ПЭПС II Технические характеристики	Имитационный вход (однополюсный): 8 x 12 бит (16 бит с использованием выборки), 0. 3.0 Полный диапазон Имитационный вход (обратная связь): 5 x 12 бит (16 - битная выборка), ±9 V полный диапазон Имитационная входная (однополюсная) защита: + 5 В, - 0.5 В ограничение Защита аналогового ввода (подачи): ±15 вольт Имитационный выход: 4 x 12 бит (16 бит с использованием выборки), 0. 3.0 Полный диапазон Имитационный выход (необязательно): 8 x 16 бит, 0. 3.0 Полный диапазон Защита аналогового выхода: защита от бесконечного короткого замыкания, + 5 вольт Номинальное напряжение цифрового ввода: 0. ...+ 3,3 В, + 5 В Допуск (+ 5 В Предел) Номинальное значение цифрового вывода: 0. .. + 3.3 V， Максимум 20 мА Цифровая защита I / O: + 5 вольт, - 0,5 вольт ограничение Внешний доступный источник питания: + 5 VDC, до 2,0 A; + 15 VDC, до 1,0 A (до 20 Вт) Порт связи: USB, отображается как RS - 232 на ПК Процессор: ARM7TDMI / 41,78 МГц Коэффициент контура управления: 100 Гц - 2,0 кГц Датчик приближения: 3 вертикальных (3 горизонтальных необязательных) вихревых потока, выход NAMUR 0 - 20 мА Датчик скорости - сейсмодетектор (опция "- VX"): 3 вертикальных, выход тока
Пневматическая спецификация	Долгосрочная стабильность высоты: ±50 микрон Долгосрочная устойчивость при наклоне: ±50 микродуги Сервоклапан: 4 x Двусторонний переменный пропорциональный сервоклапан Технология клапанов: чистый класс А Максимальное входное давление: 120 PSI или 8,3 бар или 830 кПа Номинальное потребление: 60 стандартных литров в минуту (2 стандартных кубических фута в минуту) Требования к воздуху: чистый, сухой воздух, фильтрованный до 20 микрон или более Безопасность при сбое: виброизоляция выделяет воздух при сбое или отключении питания Пневматические соединения: быстродействующие соединения « одного касания» для шлангов наружного диаметра 1 / 4 дюйма

Свойства

TMC主动空气隔振调平系统

Похожий продукт рекомендовать