TMC Активный воздушный амортизатор

TMC Активный воздушный амортизатор, Electro-Damp Это первая коммерческая активная виброизоляционная система, предназначенная для повышения пропускной способности, разрешения и производительности в области производства полупроводников. Electro - Damp II - это полностью переработанная * оригинальная система с добавлением модульного, цифрового управления, подачи, высокомощного / высокощелевого исполнительного устройства и нескольких цифровых пользовательских интерфейсов, специально предназначенных для OEM - приложений, таких как инструменты микролитографии, обнаружения и измерения.

ТМКАктивная воздушная амортизацияинструментЭлектро-влажность II

Electro-Damp ® Это первая коммерческая активная виброизоляционная система, предназначенная для повышения пропускной способности, разрешения и производительности в области производства полупроводников. Electro - Damp II - это полностью переработанная * оригинальная система с добавлением модульного, цифрового управления, подачи, высокомощного / высокощелевого исполнительного устройства и нескольких цифровых пользовательских интерфейсов, специально предназначенных для OEM - приложений, таких как инструменты микролитографии, обнаружения и измерения.

Инструменты для производства полупроводников предъявляют противоречивые требования к их виброизоляционным системам. Чтобы справиться с шумом на земле, система должна быть достаточно мягкой, чтобы эффективно фильтровать вибрации земли и не позволять ей достигать виброизоляционной поверхности. В то же время система должна быть достаточно твердой, чтобы справляться с силой рабочего стола, чтобы движение рабочего стола давало минимальное смещение виброизоляционной поверхности и могло быстро стабилизироваться.

Помимо инерционного, активного демпфирования обратной связи,Electro - Damp II также использует передачу информации для дальнейшего улучшения реакции системы. Подача получает информацию о положении и ускорении рабочего стола от контроллера рабочего стола, а затем обрабатывает эти данные, чтобы обеспечить силовой привод полезной нагрузки, что значительно сокращает движение полезной нагрузки, вызванное рабочим столом. Система может считывать информацию о подаче в цифровом виде в качестве биполярного аналогового сигнала или через выход ортогонального кодера. Цифровой контроллер DC - 2000 также может автоматически настраивать параметры, необходимые для подачи сигнала, используя рабочий режим тестирования. Это позволяет быстро и легко настраивать при первоначальной установке или после изменения полезной нагрузки.

Модульная конструкция Electro - Damp II позволяет использовать систему отдельно с электронными сервоприводами (для тяжелых, низкоскоростных приложений, таких как CMM), только с электромагнитным приводом (для более легких рабочих столов с высокими ускорениями) или в сочетании с ними (для * требовательных приложений).

ТМКАктивная воздушная амортизацияинструментЭлектро-влажность IIособенность

• Активная амортизационная система с шестью степенями свободы

• Бесконтактный электронный контроль высоты

• Цифровой контроллер

• Подача данных для коррекции движения полезной нагрузки, вызванного рабочим столом

Высокомощные электромагнитные исполнительные устройства могут поставляться отдельно или интегрироваться в систему

Уменьшение времени стабилизации движения полезной нагрузки и движения, вызванного рабочим столом

• Повышение пропускной способности, разрешения и производительности

Модульная конструкция позволяет пользователю * определить полный блок или компонент дляИнтеграция OEM

• Автоматическая настройка параметров подачи для уменьшения настроек

спецификация

Описание применения

Электро-влажность®

вPrecitechНа сверхточном станке Freeform L измерения по 3 осям (XYZ) с помощью PEPS II - VX