TMC Лабораторный стенд

ТМКЧистая комнатаИспытательный стенд63 - 635

Вся нержавеющая стальТМККласс Один™ Рабочая станция представляет собой высокопроизводительный аэродинамический виброизоляционный стол, спроектированный и установленный на земле для достижения максимальной совместимости с чистой камерой. Виброизоляция от Gimbal Piston ™ Компоненты поставляются, и он также обеспечивает * пропорциональные виброизоляционные свойства для оптических платформ, электронных микроскопов, прецизионных весов и сканирующих туннельных микроскопов.

ТМКЧистая комнатаИспытательный стенд63 - 635

Класс ОдинРабочую станцию вытерли безбархатной салфеткой с увлажненным спиртом, а перед выходом на завод - двухслойной пластиковой упаковкой.

Изолятор Gimbal Piston

всеРабочие столы CleanBench оснащены воздушным виброизолятором Gimbal Piston от TMC в качестве стандартной конфигурации. В параллельных тестах Gimbal Piston всегда превосходил других.Воздушный виброизолятор. Он обладает отличными низкочастотными виброизоляционными свойствами на всех осях и сохраняет свои характеристики даже при очень низком уровне входного возбуждения. Собственная технология амортизации позволяет Gimbal Piston стабилизировать загрузку и сброс легких полезных нагрузок и быстро устранять помехи на виброизоляционном столе.

преимущество

отВертикальная и горизонтальная виброизоляция, начиная с 2 Гц

вСнижение вибрации при 10 Гц более чем на 95%

Практически нет трения, что позволяет избежать перехода трения качения к статическому трению

Регулируя горизонтальное смещение, выступая в качестве кардана

Даже при низком уровне импорта,Gimbal Piston ® Воздушный виброизолятор также обеспечивает отличную виброизоляцию во всех направлениях. Он обладает незначительными демпфирующими свойствами и обладает высокой чувствительностью к типичным колебаниям земли в условиях низкой амплитуды, в то время как для серьезных переходных помех (таких как внезапные изменения нагрузки или удары кровли) он обеспечивает очень хороший демпфирующий эффект. Результаты показали, что виброизоляция Gimbal Piston обеспечивает * более высокий виброизоляционный эффект, устраняя почти любые серьезные помехи за считанные секунды. Он также стабилизирует виброизоляционную систему с относительно высоким центром тяжести,Это не влияет на эффект виброизоляции.

Входная реакция с низкой амплитудой

При проектировании эффективных виброизоляторов самая большая проблема заключается в поддержании хороших характеристик при типичном низком амплитуде вибрации поверхности окружающего здания. Технические характеристики виброизолятора обычно основаны на измерениях, проводимых путем размещения виброизолятора на « вибрационном столе» с очень высоким уровнем входной амплитуды. Такие тесты с входной амплитудой около миллиметра могут привести к нереалистичным и вводящим в заблуждение оценкам производительности, поскольку результаты не отражают производительность в реальном использовании.

Изолятор Gimbal Piston * спроектирован таким образом, что он поддерживает заданную резонансную частоту и высокий уровень затухания даже в самых тихих и реальных наземных условиях. Это свойство линейно связано с такой низкой амплитудой, так как конструкция почти не имеет трения, что позволяет избежать перехода от трения качения к статическому трению.

Все остальные системы, которые мы тестировали при типичном уровне вибрации на земле, либо имели более высокую резонансную частоту, чем предполагалось, либо значительно увеличили передачу через стойку виброизолятора.

Мы подчеркиваем важность спецификаций производительности на низком уровне ввода, поскольку мы неоднократно наблюдали в наших собственных тестах и на многих используемых устройствах, что легче достичь лучшей производительности при больших амплитудах и более высоких частотах.

Горизонтальный и вертикальный вход

Наши инновационные виброизоляторы могут действовать как карданный узел, так что тонкостенная прокручивающая уплотнительная мембрана может адаптироваться к горизонтальному смещению.Виброизолятор Gimbal Piston не использует кабельную маятниковую подвеску, но размещает нагрузку на отдельную кровлю с жестким стержнем, который опускается вниз в главную поршневую скважину. Нижняя часть стержня имеет сферический конец, который поддерживается на твердом, плоском основании. Поскольку шар очень слабо качается (без скольжения или прокрутки) на базе, встроенная гибкая муфта может сгибаться горизонтально в виброизоляторе. Даже если вход перемещается в микроМенее дюймовНа горизонтальном уровне метод также очень эффективен, так как статическое трение почти такое же, как и трение качения. Горизонтальное движение просто преобразуется в обычный вертикальный изгиб мембраны, нонетСходство фаз: одна сторона поршня вверх, другая сторона вниз, движение карданного узла.

Ограничения других типов виброизоляторов

Резиновая мембрана толстостенная.Большинство коммерческих виброизоляторов используют дешевые толстостенные резиновые мембраны в поршнях для достижения вертикальной виброизоляции. Из - за относительности этих компонентовнетГибкость, низкоамплитудная виброизоляция не идеальна. Хотя эта система чувствует себя более « мягкой» руками, резина больше похожа на жесткую муфту, чем на гибкий виброизолятор для типичных низкоуровневых наземных вибраций.

Закрыть пневматический виброизолятор (пассивный).Уплотнительный воздушный виброизолятор автоматически не корректируется в зависимости от изменения нагрузки. Основным ограничением таких систем является то, что они слишком жесткие, чтобы эффективно изолировать вибрацию. Например, реальныйПассивный виброизолятор с резонансной частотой 1.5 Гц дрейфует вертикально на несколько дюймов при небольших изменениях нагрузки, температуры или давления и требует постоянной ручной настройки. Таким образом, фактический герметичный виброизолятор не имеет низкой резонансной частоты этой конструкции.

Подшипниковый скейтборд.Теоретически, скейтборд подшипника может достигать горизонтальной виброизоляции с помощью эффекта развязки. На самом деле, если эта конструкция работает при низких амплитудах, требуется закаленный подшипник с небольшим допуском и точным шлифованием. Существующие коммерческие версии не могут преодолеть статическое трение при низких амплитудах для прокрутки подшипника. Кроме того, все эти системы изначально трудно выровнять и легко отклоняться от диапазона калибровки.

Самостоятельная сборка. Самодельная виброизоляционная система - обычно стальная или гранитная плита, помещенная на резиновую подушку, теннис или подушку безопасности - может работать только в том случае, если частота помех вибрации высока и требует минимальной виброизоляции. Хотя все виброизоляторы используют принцип размещения массы на демпфирующих пружинах, их производительность в основном определяется жесткостью пружины: чем жестче пружина, тем выше резонансная частота. Поэтому самодельные решения ограничены их высокой резонансной частотой.

иметьГимбал Пистон с частотой вертикального резонанса 1.5 Гц ™ Виброизоляция начинается при 2 Гц и может снизить вибрацию более чем на 95% при 10 Гц. Теннис под стальной пластиной с резонансной частотой 7 Гц начинает виброизоляцию выше 10 Гц и уменьшает вибрацию на 90% при 30 Гц. Но большинство зданий демонстрируют самые высокие вибрационные сдвиги между 5 и 30 Гц, поэтому теннисные или резиновые прокладки фактически усугубляют проблему, увеличивая частоту окружающей среды между 5 и 10 Гц.

спецификация

Бланк заказа

сГимбал Пистон, виброизоляция.Класс ОдинРабочая станция

аксессуар- Все размеры рабочего стола

аксессуар- Зависит от размера.

* Требуется при установке полок