VTC - 110PAX Автоматическая вращающаяся система покрытия

полостная среда

Содержание воды: < 1 ppm (20°C, 1 atm)
Содержание кислорода: < 1 ppm (20°C, 1 atm)

Передний отсек

Есть две передние комнаты.
Большой размер передней камеры: 360 мм x 600 мм
Малый размер передней камеры: 150 мм x 300 мм (L)

Рабочий газ

Рабочие газы: инертные газы, такие как N2, Ar и He
Управляющий газ: сжатый воздух или инертный газ
Восстановительный газ: смесь рабочего газа и водорода (H2).
Если система очистки выполняет только обезвоживание, восстановительный газ такой же, как и рабочий газ.

Система очистки газов

Немецкий дезоксидный материал BASF, США UOP всасывающий материал, автоматическое управление процессом регенерации системы очистки, функция автоматического дегидратации и деоксикации; Может поддерживать чистоту газа в течение длительного времени и непрерывно: вода < 1 ppm, кислород < 1 ppm.

Система контроля давления

Давление воздуха в полости можно автоматически контролировать с помощью сенсорного экрана PLC.
Точность управления: ±1Па
Также можно управлять вручную с помощью педального переключателя.

Система фильтрации

На входе и выходе установлены фильтры.
Точность фильтрации: 0,3 мкм

система управления

Цветной сенсорный экран SIEMENS (6 дюймов), система управления PLC, двуязычное переключение
Водный зонд: с использованием американского бренда GE, сенсорный экран 0 - 1000 ppm, точность 0,1 ppm
Кислородный преобразователь: с американским брендом AII, сенсорный дисплей 0 - 1000 ppm, точность 0,1 ppm
Давление датчик: с использованием американского бренда Setra, сенсорный экран 2500 - 2500 Па, точность ±1Па

перчатки

Американский синтетический каучук марки NORTH

Система освещения

Настройка люминесцентных ламп Philips

Размер прибора

2300 мм (длина) х 1500 мм (широта) х 1900 мм (высота)

Меры предосторожности

При циркуляции газа внутри бардачка необходимо обеспечить, чтобы трубопровод системы циркуляции был гладким и не блокировался.
В бардачки нельзя пускать коррозионный газ.
Нужно регулярно регенерировать коробку.
Скорость деаэрации в бардачке зависит от входящего рабочего газа, а деаэрация N2 лучше, чем в AR.
Если в бардачке есть коррозионный газ (например, электролит LiPF6), то бутылка с жидкостью должна быть запечатана, если она не используется.

Параметры роторной машины

1, полость (материал): полипропилен

2, пробный диск (присос): полипропиленовый присос 19 мм, 60 мм, 100 каждый

Режим работы: может хранить 12 групп программ; Каждая программа состоит из шести этапов работы.

4, скорость покрытия: 20rpm - 12500 rpm эффективный, разрешение скорости 1rpm / s

Скорость увеличения / уменьшения: диапазон настроек скорости увеличения / уменьшения для каждого сегмента: 20 rpm - 15000 rpm / s

6, время нанесения покрытия: каждый временной диапазон: 0 - 3000s

7 Стабильность оборотов: ±1%

Система жидкого перемешивания

Четыре нагреваемых магнитных насоса.

Температура нагрева RT - 100°C

Скорость магнитного перемешивания: 0 - 2000 rpm

Система впрыска жидкости

Гидротрансмиттер автоматически движется влево и вправо.

Эффективный маршрут горизонтального перемещения: 500 мм

Горизонтальная скорость перемещения: 1 ~ 1800mm / min (целое число).

Эффективный ход вертикального перемещения вверх и вниз: 250 мм;

Скорость перемещения вверх и вниз по Тире: 1 ~ 200 мм / мин (целое число)

Четырьмя высокоточными автоматическими жидкостями.

Точность инъекции: ±1 мкл

Прирост: 1 мкл

тонкопленочная сушилка

Мощность нагрева: 3500W

2. Температура нагрева: + 500°C

Точность контроля температуры: ±1°C

4, нагревательная пластина: 350 мм × 240 мм