VTC - 1HD - ZF2 высоковакуумный магнитный распылитель

модель продукта

ВТК-1HD-ZF2

Основные параметры

Вакуумная камера: 324X330

Предельный вакуум 6.0X10 - 4Pa (с использованием отечественного турбомолекулярного насоса FF - 150 литров + механического насоса)

Коэффициент утечки: 2,0x10 - 10Pa.m3 / с

Материал сваривается из нержавеющей стали 304, электрохимическая полировка поверхности.

На подвижном месте уплотнение осуществляется резиновым уплотнительным кольцом, а на неактивном - медным уплотнением.

Динамическая передача осуществляется методом магнитной связи.

Вакуумная камера с магнитной мишенью, набором испарительных электродов (два), двумя станциями с пучковым источником (стандартная печь с одним пучком).

Группа расходомеров 1 (группа аргона 1) со стеклянным окном наблюдения Фи - 150 с зарезервированным фланцевым интерфейсом C35.

2, головка распыляемой мишени: 2 дюйма (Фи 50,8 мм)

Рабочий вакуум: 10 Па ~ 0,2 Па

Коэффициент использования мишени: > 35% (стандартная 3 мм медная мишень, вакуум мишени 0,5 Па)

MAX功率： 240 Вт (полное охлаждение)

Изоляционное напряжение: > 2000 В (1 комплект питания постоянного тока 500 Вт)

3 Сопротивление испарению:

Выходное напряжение испарения: непрерывная регулировка AC 0 - 8V

Экстремальный ток испарения 200А

Предельная мощность испарения < 1,6 кВт

Температура неконтролируемая, непредсказуемая.

4, пучок: емкость тигеля: 3cc

Температура нагрева: комнатная температура - 700°C

Температура нагрева поддается измерению, регулированию и контролю.

Точность контроля температуры: ±0,5 °C

Стандартный кварцевый тигель с перегородкой, термопарой.

Мощность питания: 500 Вт, 36 В

5, стол образцов: Фи 120

Регулирование температуры: комнатная температура - 500 °C

Количество оборотов: 1 - 20rpm

Стенд для образцов может подниматься и опускаться вручную, верхний предел регулируемого хода: 50 мм

6, EQ - TM106 - 1 толщиномер мембраны

1) Источник питания: DC 5V (±10%), ток MAX 400mA

2) Разрешение частоты: ± 0,03 Гц

3) Разрешение толщины мембраны: 00136 а (алюминий)

4) Точность толщины мембраны: ±0,5%, в зависимости от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности.

5) Скорость измерения: 100ms - 1s / раз, может быть установлена

6) Диапазон измерений: 500000а (алюминий)

7) Стандартный кристалл датчика: 6 МГц

8) Компьютерный интерфейс: RS - 232 / 485 Последовательный интерфейс (коэффициент Портера 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 может быть установлен, бит данных: 8, стоп - бит: 1, проверка: нет)

9) Имитационный выход: разрешение 8 бит, выход с модуляцией ширины импульса PWM (открытый коллектор или внутренний выход 5 В)

10) Рабочая среда: температура 0 - 50°C, влажность 5% - 85% RH, без каплей конденсата

11) Размер: 90 мм × 50 мм × 18 мм

Оборудование оснащено 1 агрегатом холодной воды (тип KJ5000), принадлежащим клиенту, и деионизированной или чистой водой.

Ввод питания всей машины: AC220V / 50Hz. Мощность < 3,5 кВт.

9.Спецификации продукции:

Размер: около 1300 мм × 660 мм × 1200 мм; вес: около 160 кг