- Электронная почта
- Телефон
-
Адрес
Уси геоцентрическая технология
Категории продукта
Уси геоцентрическая технологическая компания с ограниченной ответственностью
Настроенная спортивная система ZTT - V2
ДоговариваемыйОбновление на05/06
- Модель
- Природа производителя
- Производители
- Категория продукта
- Место происхождения
Обзор
Индивидуальная двигательная система смещенного стола серии ZTT - V2 представляет собой трехосную прецизионную платформу позиционирования с вертикальным подъемом и горизонтальной выравниванием, с использованием линейного двигателя, с прецизионной сферической шарнирной связью, с отличной микродинамической точностью и динамическими характеристиками. Общая высота небольшая, компактный размер, высокая жесткость, грузоподъемность до 10 кг, совместимая с использованием чистой среды камеры. $r $n $r $nZTT - V2 обладает статической точностью позиционирования от точки к точке, но также имеет очень выдающуюся динамическую точность, которая может быть адаптирована к микродинамическим и динамическим ошибкам следования, требующим строгого обнаружения кристаллического круга, оптического выравнивания, обнаружения панели или фотолитографии без маски и других приложений.
Подробности о продукте
Настроенная спортивная система ZTT - V2Это вертикальный подъем и горизонтальная выравнивание трехосной прецизионной платформы позиционирования, с использованием линейного двигателя, с использованием прецизионной сферической шарнирной связи, с очень хорошей микродинамической точностью и динамическими характеристиками. Общая высота небольшая, компактный размер, высокая жесткость, грузоподъемность до 10 кг, совместимая с использованием чистой среды камеры.
Настроенная спортивная система ZTT - V2При наличии точности статического позиционирования от точки к точке, но также имеет очень заметную динамическую точность, может адаптироваться к микродинамическим и динамическим ошибкам следования, требующим строгого обнаружения кристаллического круга, оптического выравнивания, обнаружения панели или фотолитографии без маски и других приложений, в соответствии с высотой фокусировки датчика в режиме реального времени для настройки высоты и углового положения, многовекторное решение проблемы управления движением клиента.
Минимальный шаг платформы ZTT - V2тест
Шаг Z на 20 нм
устойчивость по осям
| Название оси | Z | θx | θy |
| Эффективный маршрут \ \ Travel | 5 мм | 2° | 2° |
| Точность позиционирования \ \ Accuracy | ±0,3 мкм | НА | НА |
| Точность повторного позиционирования \ \ bi - repeatability | ±0,1 мкм | ±0,1 дужной секунды | ±0,1 дужной секунды |
| Максимальная скорость \ \ Maximum Speed (1) | 20 мм/с | НА | НА |
| Максимальное ускорение \ \ Maximum Acceleration (1) | 1 г | НА | НА |
| Минимальный шаг \ \ minimum incremental step (2) | 20 нм | 0,05 дужной секунды | 0,05 арксекунды |
| Максимальная нагрузка \ \ Load Capacity | 10 кг | ||
| Вес платформы \ Stage Mass | 8 кг | ||
| Материал платформы \ \ Material | алюминий | ||
Примечание:
(1) Без нагрузки, необходимо настроить усилитель соответствующей мощности;
(2) По умолчанию испытательная точка расположена на 25 мм над рабочим столом.
Примечание:
(1) Единицы: мм;
(2) Соединение кабеля не показано;
(3) Полные 3D - чертежи можно скачать.
Параметры конфигурации продукта
| Серия продуктов | Размер рабочего стола | обратная связь |
| ЗТТ-В2 | -200 | - АС |
Параметры обратной связи
| - АС | ВВП 1 - вольтовый синусоидальный аналог |
