GVC - 2000T - высоковакуумный магнитный распылитель ионов

ДоговариваемыйОбновление на01/27

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Высоквакуумный магнитно - управляемый ионный распылитель GVC - 2000T - это легко управляемый магнитно - управляемый ионный распылитель, который дает наилучшую ценность на рынке для автоматизированных покрытий. Он используется для предварительной обработки непроводящих образцов для улучшения разрешения экрана трехмерного изображения, электропроводности образца, снижения заряда электрона и уменьшения светового повреждения более чувствительных образцов.

Подробности о продукте

高真空磁控离子溅射仪

GVC - 2000T - высоковакуумный магнитный распылитель ионовЭто легко управляемый магнитный ионный распылитель, который дает лучшую ценность на рынке для автоматизированной технологии покрытия. Он используется для предварительной обработки непроводящих образцов для улучшения разрешения экрана трехмерного изображения, электропроводности образца, снижения заряда электрона и уменьшения светового повреждения более чувствительных образцов.

I. Описание

Полностью автоматизированные продукты знаний;

2 Нет теплового повреждения, более высокая эффективность, более тонкая грануляция, более подходит для зеркал с высоким разрешением.

II. ОСНОВНЫЕ ПРИНЦИПЫ

Оборудование, которое наносит проводящее сырье (например, Pt - Pd, Pt, Au и Pd) на поверхность образца. Кроме того, непроводящие образцы используются для визуализации данных под линзой, а также для поддержания поверхности образца от опасности введения ионного пучка и для содействия текучести электронных устройств. Они могут даже использоваться в качестве производства электрического класса из пластиковой пленки.

III. Области применения

Подготовка образцов сканирующих зеркал с высоким разрешением (фактическое увеличение ≥100K);

Приготовление электродов - можно изготовить различные металлические электроды, электроды ITO.

IV. Конфигурация оборудования и технические параметры

модель&название	GVC - 2000T - высоковакуумный магнитный распылитель ионов
Вакуумная система	Турбомолекулярные насосы (импортные): Laybol 90i (мономагнитные молекулярные насосы с частотой накачки 90L / s), Германия Цилиндрический вакуумный насос: Чжэцзян пролетел над VRD - 4 (скорость накачки 1.1 л / с)
измерение вакуума	Полноразмерный композитный вакуумный калибр (импорт): 1.0E5Pa - 1E - 4Pa
Предельный вакуум системы	≤5E-3Па
Источники распыления	Источник питания с магнитным распылением, мощность 150 Вт
Доступная мишень	Все металлические мишени, мишени ITO
напряжение распыления	300-600V, Изменяется в зависимости от выбора мишени и параметров управления
ток распыления	0 - 200 мА Непрерывно регулируемый, шаг 5 мА
Время распыления	0-9999s, Непрерывно регулируемый шаг 1s
Интерфейс операции	7 - дюймовый цветной ЖК - сенсорный экран TFT с разрешением 800 × 480
Режим работы	Одноклавишная операция
Дыхание в такт	< 15 минут
Режим управления	Просто установите ток и время распыления, полностью автоматическое управление. С предобрызгивающей перегородкой (время предварительного распыления может быть установлено), полностью автоматическое управление
Функция защиты	Программное и аппаратное обеспечение взаимная блокировка, предотвращение неправильной работы, с током, вакуумной защитой и так далее
диаметр стенда	φ125mm， Может вращаться, может автоматически управляться вручную, скорость 4 - 40rpm может быть отрегулирована
Вакуумная камера	Стекло из бора с высоким содержанием кремния, размер около 200×130 мм
Электрическое питание	220 В 50 Гц мощность 800 Вт
Размеры и вес	Вес 424 (длинный) × 345 (глубокий) × 420 мм (высокий), 25 кг (нетто)
способ охлаждения	Внутреннее охлаждение
Выбор	Выбор стенда для отбора проб, контроль толщины мембраны, контроль температуры и т.д.