магнитный ионный распылитель

ДоговариваемыйОбновление на01/27

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Магнитный ионный распылитель GVC - 2000P работает одним нажатием клавиши и имеет подсказки для завершения работы; Мелкие частицы покрытия, без тепловых повреждений; Замена мишени очень проста.

Подробности о продукте

磁控离子溅射仪

ГВК-2000Пмагнитный ионный распылительХарактеристики продукта:
1, операция одним нажатием клавиши, с работой для завершения подсказки звука.
2. Мелкие частицы покрытия, без теплового повреждения.
3.Замена мишени очень проста.
4, Специальная герметичная конструкция, стекло не легко повредить.
5. Встроенный мастер операций, который может умело работать без обучения.

Основные параметры
габаритные размеры	420(L)×330(D)×335(H)	головка распыляемой мишени	плоская мишень с магнитным управлением
Доступная мишень	Au, Pt, Ag и Cu 等	Размер мишени	φ57 × 0,12 мм
Вакуумная камера	Борное стекло с высоким содержанием кремния ~ Фи 200 × 130 мм	Рабочая среда	Воздух или аргон
Стол для образцов	φ125мм	скорость вращения стенда	4 - 20rpm Можно настроить
вакуумный насос	Роторный насос (необязательно сухой насос)	Скорость откачки	1,1 л/с
измерение вакуума	вакуумная трубка Пирани	Рабочий вакуум	4-20 Па
Предельный вакуум	≤1Па	Рабочий ток	0 - 100mA Непрерывная регулировка
дисплей	7 - дюймовый цветной сенсорный экран 800 × 480	рабочее время	1 - 999s Непрерывно регулируемый
Вход	автоматический	Выпуск воздуха	автоматический

磁控离子溅射仪

Размер частицы золота (кремниевый спрей) диафрагма батареи в 100 000 раз (платиновый спрей)

ГВК-2000Пмагнитный ионный распылительТехнические программы

1. Распыление мишени осуществляется с помощью плоской мишени с магнитным управлением для обеспечения того, чтобы образец рабочего процесса не подвергался тепловому повреждению.

2.Использование ARM в качестве процессора, полностью автономная интеллектуальная собственность, хорошая масштабируемость, может быть выбрано:

a) Компонент контроля толщины пленки: может быть предустановлена ожидаемая толщина покрытия, точный контроль толщины покрытия во время работы;

b) нагревательные сборки стенда для отбора проб: уплотнение мембраны и сцепление с базой могут быть повышены за счет нагрева.

3. 7 - дюймовый сенсорный ЖК - дисплей с разрешением 800 × 480, полный цифровой дисплей;

3.1 Можно установить: (1) ток распыления; (2) Время распыления; (3) Виды мишеней; (4) Рабочий вакуум; (5) Рабочие газы; (6) Яркость экрана и другие параметры;

3.2 Можно показать: (1) ток распыления; (2) оставшееся время распыления; (3) Рабочий вакуум; (4) Накопленное время использования мишени; (5) Накопленное время использования оборудования и другие параметры.

4. Электрический ток распыления: непрерывно регулируемый 2 - 100 мА, минимальный шаг 1 мА;

5. Длина распыления: 1 - 999s непрерывно регулируемый, минимальный шаг 1s*

6. Вакуум распыления: 4 - 20Па непрерывно регулируемый, минимальный шаг 0,1 Па*

7. Цель для распыления: калибрована как платиновая мишень высокой чистоты (чистота 4N9) со спецификацией 57 × 0,12 мм; в качестве мишени для распыления могут использоваться металлы, такие как золото, серебро, медь и палладий;

8. Вакуумная камера: стекло из бора с высоким содержанием кремния с высокой светопроницаемостью, размер около 200 × 130 мм;

9. Станция для образцов: поворотный стенд для образцов нержавеющей стали, диаметр которого составляет 125 мм, и регулируемая скорость 4 - 20rpm;

10. Параметры мишени: Система обеспечивает рабочие параметры золота, платины, серебра, меди для воздуха и аргона, которые могут быть использованы напрямую. В то же время, предлагая четыре пользовательских целевых материала, пользователи могут устанавливать рабочие параметры в соответствии со своими потребностями;

11. Предварительное распыление: предобрызгивающая перегородка с полностью автоматическим управлением, обеспечивающая стабильность и надежность рабочего процесса;

12. Операция одним нажатием клавиши: система может автоматически выполнять такие рабочие процессы, как вытяжка, надувка, настройка параметров, предварительное распыление, распыление покрытия и т.д.; После завершения распыления выключите вакуумный насос, система автоматически надувается, чтобы уравновесить давление внутри и снаружи вакуума;

13. Наличие двойной блокировки тока распыления и вакуума, безопасной и надежной, срабатывает любое условие, система может прекратить работу, чтобы предотвратить повреждение оборудования из - за неправильной работы;

14. Система использует вакуумный калибр Пирани в качестве вакуумного измерительного элемента;

15. Предельный вакуум лучше 1 Па, скорость накачки вакуумного насоса составляет 1,1 л / с;

16. Функция отображения тока распыления и вакуума с помощью кривых в реальном времени очень удобна для пользователя, чтобы понять рабочее состояние системы;

17. Использование профессиональной конструкции замены мишени, без каких - либо инструментов для достижения быстрой замены мишени;

18. Приборное питание: AC220 ± 10% V, номинальная мощность 500 Вт.

Похожий продукт рекомендовать