высоковакуумный магнитный распылитель ионов

ДоговариваемыйОбновление на01/27

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Высококачественный вакуумный магнитно - управляемый ионный распылитель GVC - 2000TD позволяет изготавливать различные металлические, мономерные, неорганические неметаллические пленки; Без разрушения вакуума может быть реализована многослойная композитная мембранная подготовка.

Подробности о продукте

高真空磁控离子溅射仪

Преимущества высоковакуумного магнитно - управляемого ионного распылителя GVC - 2000TD:

1. Могут быть изготовлены различные металлические, мономерные, неорганические неметаллические пленки;

2, без разрушения вакуума, может быть достигнута многослойная композитная мембранная подготовка;

3, операция одним нажатием клавиши, полностью автоматическое управление, высокая степень интеллекта;

4) Хорошая согласованность, повторяемость;

5. Встроенные многоцелевые рабочие параметры, не нужно нащупывать процесс покрытия;

6 Малый размер, компактная структура, очень экономит пространство.

　　II. Параметры продукта высоковакуумного магнитного распылителя ионов GVC - 2000 TD:

Внешний размер (хост)	424(L)×345(D)×420(H)	Входное питание	220В/50Гц 1000 Вт
головка распыляемой мишени 1	прямоточное магнитное распыление	Доступная мишень	Металлическая мишень
головка распыляемой мишени 2	РЧ - магнитное распыление	Доступная мишень	Неорганические неметаллические мишени
Вакуумная система	турбомолекулярный насос+роторный вакуумный насос	Скорость откачки	90 л/с + 1,1 л/с
измерение вакуума	комбинированный вакуумметр	Диапазон измерений	1E-3 ~ 1E5Па
Вакуумная камера	φ 200×130 мм стекло с высоким содержанием бора и кремния	Дыхание в такт	10 Минуты (≤5E-3Па)
Размер стенда	φ 90 мм	Переключение стенда	Автоуправление
Размер распыляемой мишени	φ 57 мм(Толщина 0,1-2 мм)	Рабочий вакуум	0,1-2Па
Интерфейс операции	7 дюйм ТФТ ЖК сенсорный экран	Язык операций	Китайский (дополнительные языки)
охладитель	Небольшие настольные холодильные установки	мощность охладителя	180Вт
упор предварительного распыления	Стандартная полностью автоматическая панель предварительного распыления
Мембранометр (выбор)	Может отображать толщину покрытия в режиме реального времени и управлять процессом покрытия, определяя точность измерения 0,01 нмУстановить точность 0,1 нмОднократное установление диапазона 1-999 нм
Мембранометр (выбор)
Компонент терморегулирования (выбор)	Модуль подогрева стенда 300℃/ 500℃
Вращающиеся компоненты (выбор)	Поворот наклона, вращение планеты и т.д.
Маленький автомобиль (выбор)	Собирайте хост, радиочастотный источник питания, охладитель и так далее вместе, хорошая целостность
установка среды	220В/10А Трехдверная розетка одна, чистота 4Н Аргон высокой чистоты и выше (выходное давление) 0,12 МПа)

Похожий продукт рекомендовать