Пневматические высоковакуумные клапаны VAT 54

Пневматические высоковакуумные клапаны VAT 54

Определение местоположения продукции серии 54

• Тип продуктаКлапан высоковакуумный с пневматическим приводом (Pneumatic Gate Valve)

• Основные функцииА.

• Быстрая изоляция вакуумной полости (время включения / выключения < 1 сек.)

• Подходит для полупроводниковых, фотоэлектрических, научных приборов.Система сверхвысокого вакуума (UHV)

• ключевое преимуществоА.

• Низкий уровень утечки<1×10 ⁻⁹ мбар·л/с(Металлические уплотнения до 10 ⁻ 1 / mbar L / s)

• Конструкция нулевой утечки, совместимостьКоррозионный газ(Например, Clnenenebd, SF ₆ в процессе CVD)

Правила именования моделей (к примеру, VAT 54152 - AA)

Сравнение часто используемых субмоделей на китайском рынке

IV. Основные технические параметры

1. 真空性能А.

• Коэффициент утечки: фтористый каучук < 1×10⁻mbar · L / s, металлический уплотнитель < 1×10⁻1 1⁻mbar · L / s

• Разница в давлении: стандартная версия 10⁻mbar до атмосферного давления (необязательно в обоих направлениях)

2. Механические характеристикиА.

• Способ привода: пневматический двойного действия (требуется 0,5 ~ 0,7 МПа сжатого воздуха)

• Время включения и выключения: менее 0,5 секунды для DN63 и 1,5 секунды для DN200

• Циклический срок службы: > 500 000 раз (металлический уплотнительный вариант)

3. Совместимость материаловА.

• Фторированный каучук (AA): низкая стоимость, непереносимость плазмы

• Металлическое уплотнение (ММ): коррозионная стойкость, высокая температура, цена выше 30% ~ 50%

• Материал корпуса клапана: 316L нержавеющая сталь (факультативная электролитическая полировка EP)

• Параметры уплотнения:

V. Ключевые этапы отбора

1. Определение проходаВыберите DN40 / DN63 / DN160 / DN200 в зависимости от пропускной способности трубопровода

2. Выбор уплотненияА.

• Обычный процесс: фтористый каучук (АА)

• Коррозия / ионная инъекция: металлическое уплотнение (ММ)

3. Сопоставительный фланецА.

• Фланец ISO - K: большой расход (например, оборудование для покрытия)

• Фланец CF: сверхвысокий вакуум (например, полупроводниковые полости)

4. Особые потребностиА.

• Коррозионные газы: выборкорпус никелевого клапанаИлигерметизация из сплава Харви

• Высокотемпературная среда: металлическое уплотнение + высокотемпературный электромагнитный клапан (например, серия Festo MS6)

VI. Элементы установки и технического обслуживания

• Инструкции по установкеА.

• Корпус клапана должен быть установлен горизонтально или вертикально (чтобы избежать наклона)

• Фланцевые болты должны быть затянуты в диагональном порядке (см. Руководство по крутящему моменту VAT)

• Рекомендации по обслуживаниюА.

• Проверка износа уплотнений каждые 6 месяцев (металлические уплотнения могут периодически размалываться)

• Фторированные резиновые уплотнители должны оставаться в состоянии покоя в течение 12 часов после воздействия атмосферы.

VII. Типичное устранение неполадок

VIII. Альтернативы для китайского рынка

1. Отечественная заменаА.

• Шэньянский научно - исследовательский институтБлокирующий клапан серии GDC(DN40 ~ DN250, скорость утечки < 5×10 ⁻mbar · L / s)

2. Дневная маркаА.

• СМКСерия VZH(Низкий вакуум, высокая рентабельность)

• Цикл поставкиА.

• Стандартная модель: 4 - 6 недель

• Индивидуальная версия (например, корпус никелевого клапана): 8 - 12 недель

Пневматические высоковакуумные клапаны VAT 54