- Электронная почта
- Телефон
-
Адрес
Шанхайский район Фэнсянь, Южный мост, улица 93, 6.
Шанхайская компания машин и оборудования
Шанхайский район Фэнсянь, Южный мост, улица 93, 6.
Вакуумные компоненты VAT 334347
Номер оригинальной запчасти: 334347
Серия:: Упаковка вакуумных клапанов VAT
Тип самолетаА.
VAT 59000 Высокий вакуумный угловой клапан
Клапаны VAT серии 47000
| параметр | спецификация |
|---|---|
| материал | Перфторэфирный каучук (FFKM) |
| твердость | 75±5 берег А |
| Класс вакуумного уплотнения | ≤1×10 ⁻⁹ мбар·л/с |
| Диапазон термостойкости | - 20°C ~ + 320°C (краткосрочная 350°C) |
| Химическая устойчивость | Устойчивость к плазменной / озоновой / кислотно - щелочной коррозии |
| размерные характеристики | Подходит для DN63 (2.5 ') Фланец клапана |
Комплексное проектированиеА.
Главная герметичная губа: двойной герметичный край FFKM
Поддерживающий каркас: нержавеющая сталь 316L Встроенное кольцо
Конструкция против экструзииА.
Оптимизированная конструкция сечения (увеличение несущей способности на 30%)
| Клапаны серии VAT | конкретная модель |
|---|---|
| 59000 | 59063, 59080 |
| 47000 | 47150, 47200 |
| 39000 | Подтвердить размер фланца |
обработка поверхностиА.
шероховатость фланцевого уплотнения
Требуется чистка без ворса + изопропиловый спирт
Установка крутящего моментаА.
| Тип фланца | Рекомендуемый крутящий момент |
|---|---|
| ИСО-КФ63 | 15~18 Nm |
| CF63 | 30~35 Nm |
Масс - спектрометрия гелияА.
Испытательное давление: 1×10⁻mbar
Допустимая скорость утечки: 1 × 10 ⁻mbar · L / s
Тест на старениеА.
деформация сжатия через 72 часа после выпечки при температуре 250°С 20%
| Марка / модель | Точка расхождения |
|---|---|
| НДС 334347-М | Версия с металлическим покрытием (стойкость 450 °C) |
| Пфайфер 033434 | Kalrez ® Материал, цена + 40% |
| Отечественный FFKM - DN63 | Низкая стоимость 60%, срок службы около 50% оригинальный завод |
| Условия работы | Ожидаемый цикл замены |
|---|---|
| Высокий вакуум при комнатной температуре (< 10⁻mbar) | От 3 до 5 лет |
| Плазменная среда | От 6 до 12 месяцев |
| Высокая температура (280°C) | От 1 до 2 лет |
Это уплотнение должно быть скоординировано.Специальные вакуумные жиры для VAT (P / N: 334500)Использование. дляПолупроводниковое оборудованиеРекомендуется проводить профилактическую замену каждые 12 месяцев и сохранять старые детали для анализа отказов. Массовые заказы (≥50 штук) могут подать заявку на 15 - процентную годовую договорную скидку.
Вакуумные компоненты VAT 334347