- Электронная почта
- Телефон
-
Адрес
Шанхайский район Фэнсянь, Южный мост, улица 93, 6.
Шанхайская компания машин и оборудования
Шанхайский район Фэнсянь, Южный мост, улица 93, 6.
Швейцарская VAT 590 серия электрических высокопроизводительных клапанов кондиционирования воздуха
Тип продуктаЭлектрический приводной клапан с высоким разрешением кондиционирования воздуха (Proportional Control Valve)
Основные функцииА.
Точное регулирование давления(диапазон 10⁻³ ~ 10⁻mbar)
Динамическое управление потоком (для CVD, PVD, травления и других процессов)
ключевое преимуществоА.
Разрешение до0,1% Полный диапазонВремя отклика < 50 мс
Полнометаллическое уплотнение (коэффициент утечки < 1×10⁻1 1mbar L / s)
поддержкаАналоговая величина (0 - 10V / 4 - 20mA)АЦифровая связь (RS485 / Profibus)контроль
| Сегмент кода | значение |
|---|---|
| 590 | Название серии (электрический регулирующий клапан) |
| .12 | Размер прохода (12 = DN25, 18 = DN40) |
| - АА | Материал уплотнения (AA = фтористый каучук, MM = металл) |
| модель | Проход | Управляющий сигнал | уплотняющий материал | Коэффициент утечки | Типичный сценарий применения |
|---|---|---|---|---|---|
| НДС 590.12-АА | ДН25 | 0-10V/4-20mA | фторкаучук | <1×10 ⁻⁹ мбар·л/с | Лабораторная вакуумная система |
| НДС 590.18-ММ | ДН40 | RS485 / Профибус | Металлическое уплотнение | <1×10 ⁻ ¹¹ мбар·л/с | Полупроводниковое оборудование ALD |
| НДС 590.24-ММ | ДН63 | 0-10V | Металлическое уплотнение | <1×10 ⁻ ¹¹ мбар·л/с | Управление впуском в камеру с фотоэлектрическим покрытием |
Свойства регулированияА.
Линейность: ±0,5% полный диапазон
Точность повторения: ±0,2%
Коэффициент расхода (Cv):0.02(DN25)~0.15(DN63)
Электрические характеристикиА.
Электрическое напряжение: 24V DC ± 10%
Энергопотребление: < 15W (в режиме ожидания < 5W)
Обратная связь местоположения: опция 0 - 10V или SSI Абсолютный кодер
Экологическая адаптацияА.
Фторкаучуковое уплотнение: - 20°C ~ + 150°C
Металлическое уплотнение: - 200°C ~ + 250°C (режим выпечки)
Температурный диапазон:
Коррозионная стойкость: совместимость с технологическими газами, такими как Clnenenebk, NFnenenebq и т.д. (с никелированным корпусом клапана)
Определение проходаА.
Выберите DN25 / DN40 / DN63 в соответствии с потребностями трафика
Вычислительная формула:
(Q: Поток, дельта P: перепад давления,: плотность газа)
Выберите режим управленияА.
Управление аналоговой величинойПодходит для прямого управления PLC
Цифровая связьПодходит для интеграции в интеллектуальную систему вакуумного управления
уплотняющий материалА.
Фторированный каучук (AA):: Низкая стоимость, подходит для общего вакуума (10 ⁻mbar)
Металлическое уплотнение (ММ):: Сверхвысокий вакуум (10 ⁻1 1mbar), устойчивость к плазме
Специальные параметрыА.
Тепловая версия:: Предотвращение газовой конденсации (например, процесс SiH)
Сертификация взрывозащищенности ATEX: Применяется в опасных условиях
Механический монтажА.
Направление корпуса клапана должно соответствовать потоку (маркировка стрелки)
Избегать источника вибрации (рекомендуется установить амортизатор)
Электрическое соединениеА.
Защитная кабельная проводка (для защиты от электромагнитных помех)
Сопротивление заземления < 1 Ом
калибровка параметровА.
Настройка нуля с помощью HMI или программного обеспечения (0% открытости)
Калибровка полного диапазона (100% открытости соответствует 10V / 20mA)
Тестирование ступенчатой реакции (цель: Перенастройка < 5%)
| Симптом неисправности | Возможные причины | решение |
|---|---|---|
| дрожание открытия клапана | Сигнальные помехи / нестабильность питания | Проверьте заземление экрана, стабилизатор напряжения |
| Перенастройка управления давлением | Параметры PID неразумны | 重新整定(P↓, I↑, D↓) |
| Нарушение связи | Ошибка настройки протокола | Проверка коэффициента Портера / адреса устройства |
Швейцарская VAT 590 серия электрических высокопроизводительных клапанов кондиционирования воздуха