- Электронная почта
- Телефон
-
Адрес
Шанхайский район Фэнсянь, Южный мост, улица 93, 6.
Шанхайская компания машин и оборудования
Шанхайский район Фэнсянь, Южный мост, улица 93, 6.
Швейцарский вакуумный клапан VAT 47 серии
Ниже приведено описаниеШвейцарская компания VAT 47 серии высоковакуумных угловых клапановПодробный технический анализ, охватывающий его классификацию моделей, технические характеристики, руководство по выбору и применение на китайском рынке:
Тип продуктаВысокий вакуумный угловой клапан с пневматическим приводом (Angle Valve)
Основные виды примененияА.
Изоляция и вентиляция вакуумной полости
Подходит для полупроводниковых, фотоэлектрических, вакуумных покрытий, научного оборудования и других сценариев сверхвысокого вакуума (UHV)
Сертификация ядраА.
Соответствует стандарту SEMI, скорость утечки < 1×10⁻mbar · L / s
Совместимость материалов: 316L нержавеющая сталь, фтористый каучук (FKM) или цельнометаллическое уплотнение
| Сегмент кода | значение |
|---|---|
| 47 | Название серии (пневматический высоковакуумный угловой клапан) |
| 1 | Размер корпуса клапана (1 = DN16, 5 = DN160) |
| 52 | Тип фланца (52 = CF) |
| АА | Материал уплотнения (AA = фтористый каучук, MM = металл) |
| модель | Проход | Тип фланца | уплотняющий материал | диапазон температур | Типичный сценарий применения |
|---|---|---|---|---|---|
| НДС 47112-АА | ДН16 | CF-F | фторкаучук | -20~+150°C | Маленькая вакуумная полость |
| НДС 47152-АА | ДН40 | CF-F | фторкаучук | -20~+150°C | впускной клапан фанерного оборудования |
| НДС 47552-ММ | ДН160 | ИСО-К | Металлическое уплотнение | -200~+250°C | полупроводниковая травильная машина |
| НДС 47652-АА | ДН63 | CF-F | фторкаучук | -20~+150°C | вакуумная система фотоэлектрических компонентов |
真空性能А.
Коэффициент утечки: фтористый каучук < 1×10⁻mbar · L / s, металлический уплотнитель < 1×10⁻1 1⁻mbar · L / s
Разница давления: стандартная версия 1×10⁻mbar до атмосферного давления (металлическое уплотнение до 10⁻mbar)
Механические характеристикиА.
Способ привода: пневмодинамика одного / двойного действия (требуется 0,4 ~ 0,6 МПа сжатого воздуха)
Время включения и закрытия: < 1 секунда (ниже спецификаций DN40)
Циркуляционный срок службы: > 1 млн. раз (металлические уплотнения > 500 000 раз)
Экологическая адаптацияА.
Устойчивость к растворителям фторокаукаучуковой версии: совместимость с ацетоном, алкоголем (несовместимость с сильной кислотой)
Температура выпечки в металлическом уплотнении: до 250°C (требуется высокотемпературный электромагнитный клапан)
Определение проходаВыберите DN16 / DN40 / DN63 / DN160 в зависимости от размера трубопровода
Выбор уплотненияА.
Фторированный каучук (AA): низкая стоимость, подходит для общего вакуума (10 ⁻mbar)
Металлическое уплотнение (ММ): сверхвысокий вакуум (10 ⁻ 1 mbar), высокотемпературный
Сопряжённый фланецА.
Фланец CF: сверхвысокий вакуумный стандарт (полупроводниковая промышленность)
Фланец ISO - K: приложения с большим расходом (например, оборудование для покрытия)
Настройка приводаА.
Однодействие (сброс пружины): автоматическое выключение отключения
Двойное действие: требуется двухстороннее управление газом, более быстрый ответ
Инструкции по установкеА.
Направление стрелы клапана должно соответствовать направлению потока.
Фланцевый болт должен быть свернут по диагонали постепенно (см. техническое руководство VAT по крутящему моменту)
Рекомендации по обслуживаниюА.
Замена уплотнителей из фтористого каучука каждые 2 года (условия частого использования)
Металлические герметичные клапаны проходят масс - спектрометрию гелия каждые 5 лет.
| Симптом неисправности | Возможные причины | решение |
|---|---|---|
| Клапан не закрывается. | Недостаточное давление источника / износ уплотнительного кольца | Проверьте газопровод (≥ 0,4 МПа), замените уплотнитель |
| Недостаток вакуума | Загрязнение фланцевого уплотнения | Очистить герметичность безпыльной тканью |
| Замедление открытия и закрытия | Отказ электромагнитного клапана / утечка воздуха из цилиндра | Замена приводного электромагнитного клапана (рекомендуется Festo или SMC) |
Отечественная заменаА.
Пекинская китайская наука и техникаУгольный клапан серии ZK(DN16 ~ DN200, скорость утечки < 5×10 ⁻mbar · L / s)
Дневная маркаА.
СМКСерия VXH(Для вакуума среднего и низкого уровня, с высокой рентабельностью)
Цикл поставки: Запасы обычных моделей 2 - 4 недели, индивидуальные корпуса клапанов 8 - 12 недель
Швейцарский вакуумный клапан VAT 47 серии