- Электронная почта
- Телефон
-
Адрес
Шанхайский район Фэнсянь, Южный мост, улица 93, 6.
Категории продукта
Шанхайская компания машин и оборудования
Швейцарская вакуумная задвижка VAT 96603 - 01
ДоговариваемыйОбновление на05/18
- Модель
- Природа производителя
- Производители
- Категория продукта
- Место происхождения
Обзор
Швейцария VAT вакуумная задвижка панель 96603 - 01 $r $n Базовая информация $r $n Оригинальный номер детали: 96603 - 01 $r $n $r $n $n Применимый тип клапана: VAT 96600 Series Высокий вакуумный задвижной клапан $r $n $r $r $n $n Материал: нержавеющая сталь 316L (электролитическая полировка EP класс) $r $n $r $n Обработка поверхности: Ra 0.1 мкм (зеркальная полировка)
Подробности о продукте
Швейцарская вакуумная задвижка VAT 96603 - 01
1. Базовая информация
Номер оригинальной запчасти: 96603 - 01
Тип применимого клапанаВысококачественные клапаны VAT 96600
материалНержавеющая сталь 316L (класс EP электролитической полировки)
обработка поверхности: Ra 0,1 мкм (зеркальная полировка)
2. Основные параметры
| параметр | спецификация |
|---|---|
| размер | Подходит для клапанов DN160 (6.3 ') |
| Допуск на толщину | ±0.005mm |
| плоскостность | ≤0.01мм/м |
| Класс вакуумного уплотнения | 1×10 ⁻mbar · L / s (с металлическим уплотнительным кольцом) |
| Диапазон термостойкости | - 270°C ~ + 450°C (цельнометаллическая герметичная конфигурация) |
3. Структурные особенности
Двустороннее уплотнениеА.
Главная герметичная обложка: Коническое металлическое уплотнение (медь или нержавеющая сталь)
Вторичное уплотнение: дополнительные эластомерные уплотнения (например, VITON) ®）
Система наведенияА.
Точная прямая направляющая (коэффициент трения < 0.001)
Интерфейс приводаА.
Стандартная адаптация пневматических приводов VAT (например, серии 96100)
4. Тип совместимого клапана
| Клапаны серии VAT | Примеры конкретных моделей |
|---|---|
| 96600 | 96603, 96606, 96610 |
| 96800 | 96803 (требуется подтверждение размера) |
5. Монтаж и техническое обслуживание
шаги установкиА.
Очистка полости клапана (с использованием пылевой ткани + спирта высокой чистоты)
Предварительно установленное уплотнительное кольцо (требуется специальное монтажное приспособление)
После вставки клапанной пластины вручную проверяется сопротивление скольжению (должно быть 5N)
Требования к крутящему моментуА.
крутящий момент фланцевого болта: 20 ~ 25 нм (ISO - KF160)
6. Показатели полезного срока службы
| режим работы | Ожидаемая продолжительность жизни |
|---|---|
| Высокий вакуум при комнатной температуре (< 10⁻mbar) | < 10 Цикл |
| Высокая температура (300°C) | Порядка 5×10 циклов |
| Плазменная среда | Необходимо проверять износ каждые 5 × 10 ⁵ |
7. Метод обнаружения износа
Оптический контрольА.
Измерение царапин на герметичной поверхности с помощью интерферометра белого света (глубина 0,5 мкм является безопасной)
Тестирование производительностиА.
Масс - спектрометрическая течь гелия (1×10⁻mbar · L / s при закрытии клапанной пластины)
8. Сопоставление альтернативных вариантов
| Марка / модель | Точка расхождения |
|---|---|
| VAT 96603-01-M | Золотое уплотнение (коррозионная стойкость + электропроводность) |
| Пфайфер PGV 160 | Совместим, но требует изменения интерфейса исполнителя |
| Компьютеры отечественного производства | Низкая стоимость 60%, срок службы около 40% оригинальный завод |
Клапан должен быть скоординирован.Уплотнители серии VAT 229310Использование. дляПолупроводниковое оборудованиеРекомендуется обязательная замена каждые 2 года или 10 циклов. Срок доставки заказных версий (например, покрытий из алюминиевого нитрида кремния) увеличивается на 8 недель.
Швейцарская вакуумная задвижка VAT 96603 - 01
Похожий продукт рекомендовать
