- Электронная почта
- Телефон
-
Адрес
Шанхайский район Фэнсянь, Южный мост, улица 93, 6.
Шанхайская компания машин и оборудования
Шанхайский район Фэнсянь, Южный мост, улица 93, 6.
Швейцарский вакуумный клапан VAT 01034 - KE01 - 00002
| Сегмент кода | значение |
|---|---|
| 01034 | Серия: Высококалиберный угловой клапан малого калибра |
| КЭ01 | Тип фланца: ISO - KF16 (DN16) |
| 0002 | Код конфигурации: с пневматическим исполнительным устройством + датчиком положения |
| параметр | спецификация |
|---|---|
| Диапазон вакуума | 10⁻⁹ ~ 1000 mbar |
| Коэффициент утечки | 1×10 ⁻mbar · L / s (металлическое уплотнение) |
| Материал корпуса клапана | Нержавеющая сталь 316L (полировка EP) |
| Параметры уплотнения | Полнометаллическое уплотнение / эластомер FFKM |
| способ привода | Пневматическое двойное действие (4 ~ 6 бар) |
| время отклика | 0,3 секунды (включение / выключение) |
| диапазон температур | - 200°С ~ 250°С (стандартный тип) |
Конструкция нулевой утечкиА.
Металлическая гофрированная передача (без риска утечки из динамического уплотнения)
уплотнение седла конического клапана (уплотнение класса 10⁻mbar)
Интеллектуальная обратная связьА.
Интегрированный датчик положения с магнитной связью (выход PNP)
Светодиодные индикаторы состояния (красный / зеленый двойной цвет)
Аналитические приборыА.
Изоляция системы ввода проб масс - спектрометра
электроно - микроскопическая камера
полупроводникА.
Модуль передачи кристаллического круга (EFEM)
Управление газовым каналом травильного оборудования
ФланецА.
Ограничение крутящего момента: 5 нм (обруч ISO - KF16)
уплотнительное кольцо: прокладка из бескислородной меди (P / N: VAT - CU16)
Требования к газопроводуА.
Газ приводной: азот или аргон (чистота ≥99,999%)
Фильтр трубопровода: 0,1 мкм фильтр
| клемма | функция |
|---|---|
| 1 (коричневый) | 24 В DC+ |
| 2 (Синий) | 0В |
| 3 (Черный) | Сигнал открытия клапана (PNP) |
| 4 (Белая) | Сигнал выключения клапана (PNP) |
| проект | операция | период |
|---|---|---|
| Проверка герметичности | Обнаружение интерферометром белого света | 1 год / 10 циклов |
| Срок службы сильфона | Тест на утечку гелия | 5 - летний или 10 - летний цикл |
| калибровка датчика положения | регулировка положения клапана с обратной связью | Два года |
| код | значение | решение |
|---|---|---|
| E01 | Сигнал датчика потерян. | Проверьте выравнивание магнитной связи |
| E03 | Недостаточное давление воздуха | Подтверждение приводного давления ≥ 4 бар |
| Е05 | Тепловая сигнализация | Проверьте, не превышает ли температура окружающей среды |
| Марка / модель | Точка расхождения |
|---|---|
| VAT 01034-KE01-0001 | Безпозиционный датчик |
| Пфайфер EVR 116 | Электрический привод, медленный отклик |
| Норкал UHV-16 | Цены на 25% ниже, скорость утечки немного выше |
Стандартный срок поставки этой модели составляет 12 недель. При необходимостиСверхвысокая вакуумная версия (10⁻1;mbar)ИлиБезмагнитная версияТребуется дополнительный 6 - недельный цикл настройки. Рекомендуется использовать VATСерия 52XГруппа электромагнитных клапанов обеспечивает автоматическое управление.
Швейцарский вакуумный клапан VAT 01034 - KE01 - 00002