Описание продукта:

KLA Profilm3D является одним из3D - интерферометр белого света. Оптический контур KLA Profilm3D использует технологию вертикального интерферометрического сканирования (WLI) с технологией фазовой интерферометрии (PSI). Проведение субнанометровых поверхностных морфологических исследований по более низким ценам. Используйте принцип интерференции белого света без повреждения образца.

Особенности продукции Преимущества:

• Диапазон поля зрения: Profilm3D обеспечивает диапазон поля зрения до 2 мм с помощью 10 - кратного объектива, в то время как его функция максимального 4 - кратного оптического зума удовлетворяет потребности в переключении нескольких объективов в различных приложениях. Все это привело к дальнейшему снижению стоимости закупок.

• 100 - мм автоматический стенд XY: Каждый оптический контур Profilm3D оснащен 100 - мм автоматическим стендом XY, 4 - дырочным объективным ротором и ручным выравнивающим устройством в стандартной конфигурации.

• Высокая рентабельность: проведение субнанометровых поверхностных морфологических исследований по более низким ценам.

• • Бесконтактные высокоточные измерения ‌: вертикальное разрешение может достигать ‌нанометрового уровня ‌‌ (< 1 нм) для неразрушающего обнаружения чувствительных материалов (например, мягких полимеров, биологических образцов).

• Простые измерения: ‌ Программное обеспечение Profilm3D оптический контур может интуитивно реагировать, включая измерения шероховатости поверхности, формы и высоты ступеней. За считанные секунды можно получить все общие параметры шероховатости, измеренные на плоских и поверхностных поверхностях. Вы также можете выбрать обновление программного обеспечения для функции сращивания, чтобы объединить несколько изображений для обеспечения крупномасштабных измерений.

Принципы измерения продукции:

Оптический контур KLA Profilm3D использует белый свет в качестве источника света и делит луч на два пути с помощью спектроскопа: один путь облучает поверхность измеренного образца, а другой проецируется на поверхность референцного зеркала, а два луча отражаемого света образуют интерференционные полосы на CCD - камере. Небольшая разность высот на поверхности образца приводит к изменению разности световых лучей. Анализируя распределение света и темноты интерферометрических полос и смещение положения, мы вычисляем относительную высоту точек поверхности и получаем трехмерные морфологические данные.

Основные виды применения:

3D - интерферометр белого светаПараметры:

Оптический профиль KLA Profilm3D: