Четырехзондовый измеритель сопротивления KLA R50

Четырехзондовый измеритель сопротивления KLA R50:

Четырехзондовая система картирования сопротивления KLA R50Это продукт серии испытаний сопротивления KLA. Измерение и мониторинг сопротивления важны для любой отрасли, использующей проводящие пленки, от производства полупроводников до гибкой электроники, необходимой для носимых технологий.Четырехзондовый измеритель сопротивления KLA R50В области равномерного распределения металлических пленок, ионного легирования и инжекции, распределения толщины пленки и сопротивления, а также равномерного измерения толщины бесконтактной пленки могут быть задействованы.

Преимущества четырехзондового измерителя сопротивления KLA R50:

• Контактный четырехточечный зонд (4PP) и конфигурация бесконтактного электрического вихря (EC);

• Маршрут 100mmz, высокоточный контроль;

• тонкопленочное сопротивление проводников и полупроводников, применимое в 10 порядковых диапазонах;

• Настройка редактирования тестовых точек, включая прямоугольники, линейные, полярные координаты и пользовательскую конфигурацию;

• Электрическая платформа 200mmXY;

• Гибкость программного обеспечения RSMapper;

• Совместим со всеми тонкопленочными измерительными зондами KLA;

Принципы измерения четырехзондового резистора KLA R50:

Четырехточечный зонд (4PP)Зонд, состоящий из четырех проводящих зондов, контактирует с поверхностью проводящего слоя управляемой силой, в которой между измеренным проводящим слоем и подложкой находится непроводящее сопротивление. Стандартная измеренная конфигурация зонда состоит в том, чтобы наложить ток между двумя внешними зондами и измерить напряжение между двумя внутренними зондами. При измерении сопротивления пленки толщина проводящего слоя должна быть меньше 1 / 2 расстояния между двумя зондами. KLA находитсяR50 Четырехзондовый измеритель сопротивленияБыла разработана двухмодовая технология, которая позволяет измерять напряжение на зонде с интервалом, а также оснащена функциями динамической коррекции пограничного эффекта и компенсации ошибок расстояния между зондами. KLA предлагает широкий спектр типов зондов для применения и оптимизации измерений характеристик различных поверхностных материалов, которые могут быть использованы практически в любой проводящей пленке или ионном инжекционном слое.

Электрический вихрь (EC)Это бесконтактная технология измерения проводящей пленки. Временный переменный ток применяется через катушку для создания временного магнитного поля, которое при приближении к проводящей поверхности создает индукционный переменный ток (вихрь) на этой поверхности. Эти электрические вихри, в свою очередь, генерируют свои собственные магнитные поля с переменным временем, которые сливаются с катушкой зонда, создавая изменения сигнала, пропорциональные сопротивлению образца. Специальная технология EC KLA, в которой один зонд расположен в верхней части образца, позволяет динамически регулировать высоту зонда в каждой точке измерения, что имеет большое значение для точности и повторяемости измерений. Метод EC не зависит от размера зонда или поверхностного окисления и идеально подходит для более мягких или других образцов, которые не подходят для измерения методом 4PP.

Четырехзондовый измеритель сопротивления KLA R50 для промышленности:

Четырехзондовый измеритель удельного сопротивления KLA R50:

однородность металлической пленки

однородность сопротивления пленки металлической пленки очень важна для обеспечения характеристик элемента, и большинство металлических пленок могут быть измерены с помощью 4PP и EC. EC рекомендует более толстые металлические пленки с высокой электропроводностью, 4PP подходит для более тонких металлических пленок (> 10 Ом / sq), но в любом случае 4PP / EC демонстрирует высокую корреляцию, которая гарантирует, что точные результаты могут быть получены с использованием любого из методов. Диаграмма распределения сопротивлений четырехзондового измерителя сопротивления KLA R50 показывает однородность пленки, качество осаждения и другие технологические колебания.

II. Изображения ионной инъекции

Метод 4PP является стандартным методом измерения процесса ионной инжекции. Тестирование распределения ионной инжекции после теплового отжига позволяет определить горячие и холодные точки, вызванные неисправностью лампы, плохим контактом кристаллического круга / платформы или изменением дозы инъекции. Для кремниевого ионного инжекционного слоя процесс термического отжига необходим для активации легированных ионов.

Толщина пленки / удельное сопротивление / тонкопленочное сопротивление

Собирая данные о кристаллической окружности,Четырехзондовый измеритель сопротивления KLA R50Можно составить карту распределения сопротивления пленки, толщины пленки или сопротивления. Распределение толщины мембраны может быть рассчитано и показано с помощью коэффициента сопротивления входящего материала; Или, введя данные о толщине мембраны, можно рассчитать распределение сопротивления.

IV. Сбор и визуализация данных

Четырехзондовый измеритель сопротивления KLA R50Программное обеспечение RSMapper сочетает в себе сбор данных с мощными аналитическими функциями и имеет интуитивный визуальный интерфейс, который может использоваться как для самого устройства, так и в автономном режиме. Различные инструменты компоновки координат, встроенные в программное обеспечение, могут помочь пользователям легко настроить точки измерения данных.

Параметры продукта четырехзондового измерителя сопротивления KLA R50:

Четырехзондовый измерительный прибор KLA R50: