Четырехзондовый измеритель сопротивления KLA

Четырехзондовый измеритель сопротивления KLAЭто измерительный продукт KLA. От производства полупроводников до гибкой электроники, необходимой для реализации носимых технологий, мониторинг тонкопленочного сопротивления очень важен для любой отрасли, использующей проводящие пленки. Четырехзондовый измеритель сопротивления KLA R54 функционально оптимизирован для картирования однородности металлической пленки, характеристики ионной инжекции и отжига, измерения толщины и сопротивления пленки и бесконтактного измерения толщины пленки.

Преимущества:

• Пользовательское редактирование тестовых точек, включая прямоугольники, линейные, полярные координаты и пользовательскую конфигурацию

• Возможность размещения до 300 мм круглых или A4 (210 мм * 297 мм) образцов

• Проводники и полупроводниковые мембранные сопротивления, 10 порядков применения

• Можно настроить четырехзондовый (4PP) или бесконтактный вихревой (EC) режим

• Закрытые системы облегчают измерение фоточувствительных или экологически чувствительных образцов

• Поддерживается максимальная высота образца 15 мм.

• Высокоточная платформа X - Y

• Меньший размер зонда EC

• автоматическая коррекция высоты зонда ЕС

• Совместим с измерительным зондом сопротивления пленки KLA;

Принцип измерения:

Четырехточечный зонд (4PP) состоит из четырех проводящих зондов, которые с управляемой силой вступают в контакт с поверхностью проводящего слоя, где между измеренным проводящим слоем и подложкой есть непроводящая защита. Стандартная измеренная конфигурация зонда состоит в том, чтобы наложить ток между двумя внешними зондами и измерить напряжение между двумя внутренними зондами. При измерении сопротивления пленки толщина проводящего слоя должна быть меньше 1 / 2 расстояния между двумя зондами. KLA разработала двухмодовую технологию на четырехзондовом измерителе сопротивления R54, которая позволяет измерять напряжение на зонде с интервалом, а также имеет функцию динамической коррекции пограничного эффекта и компенсации ошибок расстояния между зондами. KLA предлагает широкий спектр типов зондов для применения и оптимизации измерений характеристик различных поверхностных материалов, которые могут быть использованы практически в любой проводящей пленке или ионном инжекционном слое.

Электрические вихри (EC) - это бесконтактная технология измерения проводящей пленки. Временный переменный ток применяется через катушку для создания временного магнитного поля, которое при приближении к проводящей поверхности создает индукционный переменный ток (вихрь) на этой поверхности. Эти электрические вихри, в свою очередь, генерируют свои собственные магнитные поля с переменным временем, которые сливаются с катушкой зонда, создавая изменения сигнала, пропорциональные сопротивлению образца. Специальная технология EC KLA, в которой один зонд расположен в верхней части образца, позволяет динамически регулировать высоту зонда в каждой точке измерения, что имеет большое значение для точности и повторяемости измерений. Метод EC не зависит от размера зонда или поверхностного окисления и идеально подходит для более мягких или других образцов, которые не подходят для измерения методом 4PP.

Применение в промышленности:

Применение продукции:

однородность металлической пленки

однородность сопротивления пленки металлической пленки очень важна для обеспечения характеристик элемента, и большинство металлических пленок могут быть измерены с помощью 4PP и EC. EC рекомендует более толстые металлические пленки с высокой электропроводностью, 4PP подходит для более тонких металлических пленок (> 10 Ом / sq), но в любом случае 4PP / EC демонстрирует высокую корреляцию, что позволяет использовать любой метод для получения точных результатов. Диаграмма распределения сопротивлений четырехзондового измерителя сопротивления KLA R54 показывает однородность пленки, качество осаждения и другие технологические колебания.

II. Изображения ионной инъекции

Метод 4PP является стандартным методом измерения процесса ионной инжекции. Тестирование распределения ионной инжекции после теплового отжига позволяет определить горячие и холодные точки, вызванные неисправностью лампы, плохим контактом кристаллического круга / платформы или изменением дозы инъекции. Для кремниевого ионного инжекционного слоя процесс термического отжига необходим для активации легированных ионов.

Толщина пленки / удельное сопротивление / тонкопленочное сопротивление

С помощью собранных данных о кристаллической окружности четырехзондовый измеритель сопротивления KLA R54 может составить карту распределения сопротивления пленки, толщины пленки или сопротивления. Распределение толщины мембраны может быть рассчитано и показано с помощью коэффициента сопротивления входящего материала; Или, введя данные о толщине мембраны, можно рассчитать распределение сопротивления.

IV. Сбор и визуализация данных

Программное обеспечение RSMapper для четырехзондового измерителя сопротивления KLA R54 сочетает в себе функции сбора и анализа данных и имеет интуитивный визуальный интерфейс, который может использоваться как для самого устройства, так и в автономном режиме. Различные инструменты компоновки координат, встроенные в программное обеспечение, могут помочь пользователям легко настроить точки измерения данных.

Параметры продукта:

Четырехзондовый измеритель сопротивления KLAИзмерительная карта: