Наночастицы KLA iMicro

Наночастицы KLAВведение:

Наночастицы KLA iMicro легко измеряют твердое покрытие, пленку и небольшое количество материала. Инструмент является точным, гибким и удобным для пользователя и может обеспечить множество нанометровых механических испытаний, таких как царапины, твердость, царапины и универсальные нано - уровневые тесты. Взаимные приводы обеспечивают большой динамический диапазон силовых нагрузок и смещений, что позволяет исследователям проводить подробные и повторяющиеся испытания материалов, таких как мягкие полимеры, твердые металлы и керамика. Модульный вариант подходит для различных применений: распределение свойств материала, тестирование на определенную частоту, тестирование на царапины и износ и высокотемпературное тестирование. Наночастицы KLA iMicro имеют широкий спектр возможностей для тестирования расширений, включая нагрев образцов, непрерывные измерения жесткости, распределение свойств NanoBlitz3D / 4D и датчики силовых нагрузок Gemini2D, которые обеспечивают трение и другие двухосные измерения.

Наночастицы KLAПреимущества:

• Модульная конструкция, как с широкими тестовыми функциями, так и с высокой пропускной способностью автоматизированных тестовых функций, а также с пакетом анализа статистических данных, подходит для измерения наномеханических характеристик, сканирующего зонда микровизуализации, высокотемпературного измерения и испытания характеристик тока напряжения IV в режиме реального времени и экспериментального управления, простой и простой в использовании процесс тестирования для разработки и настройки параметров тестирования.

• Стандартный электромагнитный привод InForce1000 обеспечивает привод до 1N.

• Интегрированные высокоскоростные контроллеры электроники выполняют высокоскоростной сбор данных до 100 кГц, захватывая мгновенные реакции материала, такие как зазубренный поток и разрушение. Прибор использует более короткую временную константу 20 мкс для захвата мгновенной реальной реакции материала.

• Высокоустойчивые рамки с функцией шумовой изоляции обеспечивают точное измерение различных материалов.

• Оптический микроскоп с высоким разрешением с цифровым зумом, который точно определяет образец.

• Специалисты по нано - царапинам проводят специализированные курсы по нано - царапинам в режиме онлайн, а мобильные приложения могут обеспечить обновление методов тестирования в режиме реального времени.

Принцип измерения:

Наночастицы KLA iMicro используют алмазный напор определенной геометрической формы для загрузки квазистатического давления на поверхность материала, в режиме реального времени записывают изменения нагрузки и глубины давления во время загрузки - разгрузки, генерируют кривую нагрузки - смещения ‌‌‌‌‌‌‌‌‌‌‌‌‌‌‌‌‌‌8204

Основные виды применения:

Измерение твердости и модуля (OliverPharr)

Механические характеристики имеют решающее значение для обработки и изготовления тонких пленок, включая качество покрытия в автомобильной промышленности, а также технологический контроль на переднем и заднем этапах производства полупроводников. Наночастицы KLA iMicro позволяют измерять твердость и модули различных материалов от ультрамягких гелей до твердых покрытий. Высокоскоростная оценка этих характеристик обеспечивает контроль качества на производственных линиях.

Распределение свойств высокоскоростных материалов

Для многих материалов, включая композиты, их механические свойства могут варьироваться в зависимости от места. Платформа для отбора образцов нанометра KLA iMicro может перемещаться на 100 мм по оси X и Y и на 25 мм по оси Z, что делает систему подходящей для различных высот образцов и может быть измерена на большой площади образца. Дополнительное программное обеспечение NanoBlitz для визуализации форм и слоистых изображений позволяет быстро рисовать цветовые карты любых измеренных механических свойств.

Тест на твердость ISO 14577

Наночастицы KLA iMicro включают в себя предварительно разработанный метод тестирования ISO14577, который измеряет твердость материала в соответствии со стандартом ISO14577. Этот метод автоматически измеряет и сообщает о модуле Янга, твердости прибора, твердости по Виккерсу и стандартизированных царапинах.

Модуль хранения и потери полимеров TanDelta

Наночастицы KLA iMicro позволяют измерять тандельту и модули хранения и потерь для сверхмягких материалов, включая вязкоэластичные полимеры. Модули хранения и потерь, а также тандельта являются важными свойствами вязкоупругих полимеров, энергия которых хранится как эластичная энергия и потребляется как тепло. Оба показателя используются для измерения энергопотребления данного материала.

Количественные царапины и испытания на износ

Наночастицы KLA iMicro позволяют проверять различные материалы на царапины и износ. Покрытие и пленка проходят многоканальные процессы, такие как химическая механическая полировка (CMP) и соединение проводов, чтобы проверить прочность пленки и ее склеивание с фундаментом. Важно, чтобы эти материалы сопротивлялись пластической деформации в этих процессах и оставались в том виде, в котором они были, без вспенивания фундамента. В идеале диэлектрические материалы должны иметь высокую твердость и модули упругости, поскольку эти параметры помогают определить, как материал будет реагировать в процессе изготовления.

Тест на высокотемпературное нанодавление

Наночастицы при высоких температурах очень важны для характеристики материала при тепловом напряжении, особенно для количественной оценки механизма отказа в термомеханическом процессе. Изменение температуры образца во время механических испытаний не только измеряет изменения в поведении, вызванные теплом, но и количественно оценивает переходную пластичность материала, которую нелегко проверить на наноуровне.

Применение в промышленности:

Технические преимущества:

• Непрерывные измерения жесткости (CSM)

• Распределение быстрых механических характеристик NanoBlitz3D

• NanoBlitz4D - динамическая томография

• Тестирование полимеров ProbeDM

• Метод AccuFil

• Нагрев образца при температуре 300 °C

• Международные стандартизированные испытания наночастиц

Параметры обновления:

Параметры проверки царапин и износа

Испытания на царапины и износ накладывают на зонд постоянную или возрастающую продольную нагрузку при прохождении через поверхность образца и могут использоваться для обозначения различных материалов, таких как пленка, хрупкая керамика и полимеры.

Параметры тестирования биологических мягких материалов

Метод испытания биоматериала использует метод непрерывного испытания жесткости для испытания биоматериала с модулем CSM - индикатора около 1 кПа, который содержит плоский донный напор и измеряет модуль потерь при хранении мягкого материала,

Параметры тестирования DataBurst

Режим DataBurst запускает сбор данных со скоростью до 100 кГц, захватывая мгновенные реакции материала, такие как зигзагообразный поток и разрушение; Позволяет измерять механические свойства материалов с высокой деформацией при шаговой нагрузке; Инструменты используют более короткие временные константы, чтобы помочь клиентам поймать мгновенную реальную реакцию материала.

Открытая платформа программирования InView

InView использует открытую платформу для написания программного обеспечения, чтобы помочь клиентам реализовать управление загрузкой, измерениями и вычислениями во время тестирования. Для разработки новых или сложных экспериментов. Открытая платформа разработки программного обеспечения предоставляет клиентам большую гибкость: помогает им легко собирать исходные данные испытаний и использовать конечные результаты анализа; Клиенты могут просматривать, редактировать формулы расчета, настраивать параметры, реализовывать персонализированный экспериментальный дизайн; Пользователи могут свободно проектировать и изменять параметры испытаний и процесс испытаний, предоставляя возможность исследовать новые испытания.

Электротехнические тесты TrueTestI - V

Опция TrueTestI - V позволяет пользователю накладывать на образец конкретное напряжение и измерять ток напора, чтобы показать локальные изменения электрических характеристик в процессе наномеханических измерений.

Активная вибрационная изоляция с модульной стойкой

Добавление активной виброизоляции на основе встроенной пассивной виброизоляции нанометра KLA iMicro обеспечивает хорошую стабильность и точность для сложных наномеханических измерений, таких как сверхтонкие пленки. Активная виброизоляционная система уменьшает вибрации всех шести степеней свободы и не требует корректировки.

Платформа высокоточного линейного оптического кодера

Опция линейного оптического кодера (LOE) повышает точность позиционирования тестового процесса для позиционирования микроструктуры.

Протяжные зонды и калибровочные образцы

Переменные напоры дисков InForce50, InForce1000 и Gemini включают Berkovich, стереоугол, Visch, плоское дно и сферический напор.

Измерения нанометра KLA iMicro: