Оптический прибор для автоматического измерения толщины пленки Filmetrics

ДоговариваемыйОбновление на01/05

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Оптический прибор Filmetrics для измерения толщины пленки с помощью спектральной рефлекторной системы F54 - XYT - 300 позволяет быстро и легко измерять толщину пленки образца 200 x 200 мм. Электрический стол XY автоматически перемещается к выбранной точке измерения и обеспечивает быстрое измерение толщины со скоростью до двух часов в секунду.

Подробности о продукте

Оптический прибор для автоматического измерения толщины пленки FilmetricsВведение:

Автоматический прибор Filmetrics F54 - XYT - 300 для измерения толщины оптической пленки с помощью спектральной системы отражения F54 - XYT - 300 позволяет быстро и легко измерять толщину пленки образца 200 x 200 мм. Электрический стол XY автоматически перемещается к выбранной точке измерения и обеспечивает быстрое измерение толщины со скоростью до двух часов в секунду.

Характерные преимущества:

Автоматизированная система картирования толщины пленки, быстрое позиционирование, получение результатов в реальном времени;
Измеряемая мембрана образца: в основном гладкая. Можно измерить неметаллическую пленку;
Результаты могут быть представлены в 2D или 3D, что облегчает пользователям просмотр с разных точек зрения;

Принцип измерения:

Часть света отражается, когда падающий свет проникает через интерфейс различных веществ, и из - за волатильности света отраженный свет из нескольких интерфейсов интерференцирует друг с другом, вызывая сотрясение многоволнового спектра отраженного света. Из спектральной частоты сотрясений можно определить расстояние между различными интерфейсами, чтобы получить толщину материала (чем больше сотрясения представляет собой большую толщину), а также другие свойства материала, такие как скорость преломления и шероховатость.

Примеры применения & мембраны:

Полупроводниковая мембрана	Показать технологию	потребительская электроника	Перрилин.
Фоторезист	OLED	Водонепроницаемое покрытие	Электронные изделия / платы
Диэлектрический слой	ИТО и ТКО	Радиочастотная идентификация	Магнитные материалы
Арсенид галлия	Толщина воздушной коробки	Солнечные батареи	Медицинские инструменты
Микроэлектромеханическая система	ПВЗ и ПВХ	анодная пленка алюминиевой оболочки	силиконовая резина

Общее промышленное применение:

Производство полупроводников	ЖК жидкокристаллический монитор	Оптическое покрытие	MEMS Микроэлектромеханические системы
Фоторезист	Полиамид	Жесткое покрытие	Фоторезист
Оксиды / нитриды / SOI	Прозрачная проводящая мембрана ITO	отражательное покрытие	Кремниевая мембрана
Задняя шлифовка кристаллического круга

Параметры продукта:

Диапазон волн:	190нм-1700нм	Источник света:	Вольфрамовая галогенная лампа, дейтериевая лампа
Требования к измерению толщины NK 1 *:	50 нм	Точность измерений 2:	0,02 нм
Точность *: взять больше	1 нм или 0,2%	Стабильность 3:	0,05 нм
Размер образца:	Диаметр 300 мм	Скорость (содержит вакуумные платформы):	Пять - восемь секунд. 25 точек - 21 сек. 56 точек - 43 секунды

Размер пятна	Стандартная апертура 500 микрон	Выберите отверстие 250 микрон	Выберите отверстие 100 микрон
5X - объектив	100 мкм	50 мкм	20 мкм
Объект 10X	50 мкм	25 мкм	10 мкм
Объект 15X	33 мкм	17 мкм	7 мкм
Объект 50X	10 мкм	5мкм	2мкм

Оптический прибор для автоматического измерения толщины пленки FilmetricsИзмерительная карта:

Похожий продукт рекомендовать